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深國安氯氣檢測儀在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

更新時間:2025-05-27      點擊次數(shù):308

半導(dǎo)體制造涉及清洗、蝕刻、光刻等多道工藝,其中含氯化學(xué)品(如三氯化硼、四氯化硅)的使用廣泛。這些工藝過程中,若氯氣(Cl?)未反應(yīng)或發(fā)生泄漏,將直接危害人員健康與設(shè)備安全。根據(jù)《GBZ 2.1-2019 工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》,氯氣的8小時加權(quán)平均容許濃度(TWA)僅為0.5ppm,短時間接觸容許濃度(STEL)為1ppm;當(dāng)濃度超過10ppm時,30分鐘暴露即可致命[2]。此外,氯氣若未有效處理直接排放,還會腐蝕設(shè)備、污染大氣,違反環(huán)保法規(guī)。因此,對氯氣的實時監(jiān)測與精準管控,是半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)與環(huán)保達標的核心需求。

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針對半導(dǎo)體行業(yè)高濕、微腐蝕、需24小時連續(xù)監(jiān)測的復(fù)雜環(huán)境,深國安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測儀,從硬件到功能均進行了專項優(yōu)化[?]:



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